유럽으로 출장을 떠난 이재용 삼성전자 부회장이 ASML 장비 확보를 위해 종횡무진하고있다. 네덜란드에 방문한 이 부회장은 마르크 뤼터(Mark Rutte) 네덜란드 총리, 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML 대표를 만나는 등 바쁜 일정을 소화하고 있다. ASML은 반도체 공정에서 경쟁력을 좌우하는 EUV를 생산하는 유일한 기업이다.

14일(현지시간) 이재용 부회장이 네덜란드 헤이그에 위치한 총리 집무실에서 마르크 뤼터 총리를 만났다. 이 부회장은 뤼터 총리에게 ASML의 장비를 공급해달라고 요청한 것으로 알려졌다.

ASML은 네덜란드 기업으로 반도체 미세공정에 필요한 노광장비(EUV)를 생산하는 세계 유일한 기업이다. EUV 공정은 극자외선 광원을 사용하기 때문에 반도체에 초미세 회로를 새길 수 있다는 장점이 있다. 기존에 사용하던 불화아르곤 장비(ArF)보다 더 미세한 회로를 구현할 수 있다. 업계에서는 5나노 이하 공정에서 EUV 장비 확보 여부로 업체 간 우열이 바뀐다고 분석하고 있다.

삼성전자는 최근 파운드리 사업 경쟁력 강화에 주력하고 있지만 대만 TSMC의 벽을 넘지 못하고 있다. TSMC는 파운드리 시장 글로벌 점유율 52.1%를 차지하고 있다. 삼성전자 점유율은 18.3%다.

TSMC는 EUV장비를 100여대 보유하고 있지만, 삼성전자는 15대에 불과하다. 기술 경쟁이 3나노까지 내려가며 치열해지고 있는 상황에서 EUV 장비 선점은 기업 경쟁력에 영향을 미치는 핵심 요소라고 볼 수 있다.

문제는 ASML이 1년에 생산할 수 있는 EUV 장비가 40~50대 수준이라는 점이다. 1대당 1500억원에 달하는 높은 금액이지만 생산량 대비 수요가 높아 돈을 주고도 살 수 없는 귀한 몸이다. 이 부회장이 이번 출장에서 EUV 장비 확보에 사활을 걸 것으로 예상된다.

이 부회장은 뤼터 총리와의 만남에 이어 피터 베닝크(Peter Wennink) ASML 대표(CEO)를 만나 양사 간 협력 강화 방안을 논의했다.

이날 뤼터 총리와 인사를 나눈 이 부회장은 차로 약 2시간 가량 떨어진 네덜란드 에인트호번으로 이동해 ASML 본사를 방문했다. 본사에서 베닝크 대표와 마틴 반 덴 브링크(Martin van den Brink) CTO 등 ASML 경영진을 만났다. 이번 미팅에는 경계현 삼성전자 DS부문장 등이 동행했다.

이 부회장은 ASML 경영진과 EUV 장비 수급 방안을 비롯해 ▲미래 반도체 기술 트렌드 ▲반도체 시장 전망 ▲양사 중장기 사업 방향 등에 대한 논의를 나눴다.

ASML 본사 방문에 이어 다음날인 15일(현지 시간)에는 벨기에 루벤에 위치한 유럽 최대 규모 종합반도체 연구소 imec를 방문했다. 연구소에서 루크 반 덴 호브(Luc Van den hove) imec CEO와 인사를 나눴다.

두 사람은 ▲반도체 분야 최신 기술 ▲연구개발 방향 등에 대한 이야기를 나눴다. 최첨단 반도체 공정기술 이외에도 ▲인공지능 ▲생명과학 ▲미래 에너지 등 imec에서 진행 중인 첨단분야 연구과제에 대해 소개를 받고 개발 현장을 살펴봤다.